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Business

머신비전 장비

Creation & Innovation,
A Leader of Machine Vision

반도체 분야

플라즈마 세정기

Plasma Cleaner
제품명

각종 부품의 생산 과정에 Plasma를 이용한 표면처리 메커니즘을 제공하는 장비

Specification
- 적용 대상 : 표면 개질(Surface activation), 표면 건식 세정(Surface cleaning), Polymerization coating 등의 공정에 적용.
Machine Features
- Scara or 각종 로봇 사용으로 생산성 극대화
- Vision System 사용으로 검사 및 적재 병행 진행
- 종류별 Gripper를 교환하여 검사할 수 있어 소량 다품종 대응(손쉬운 품종 등록)
- 사용자 편의성 -> 사용자 친화적 HMI, 생산/가동 이력관리