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레티클 스토커 (Reticle Stocker)
많은 수량의 Reticle을 손쉽고 빠르게 입출고 가능하도록 돕는 장비 |
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Wafer Probe Card 검사장비
Wafer Probe Card 의 이상유무를 검사하는 Machine Vision System 장비
정밀 Aling System이 적용되어 매우 정밀한 작동이 가능하고, 높은 수준의 검사가 가능 |
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반도체 Wafer 검사장비
본 설비는 반도체 Wafer 생산과정에서 발생할 수 있는 스크레치, 이물, 깨짐 등 외관 불량을 카메라를 이용하여 자동으로 검사하는 설비입니다.
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Wafer Carrier 두께 측정장비
Wafer Lapping Machine에 사용되는 Carrier의 두께를 정밀하게 측정하는 장비 |
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플라즈마 세정기
각종 부품의 생산 과정에 Plasma를 이용한 표면처리 메커니즘을 제공하는 장비 |
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Ingot 외경 측정시스템
액체 실리콘 에서 Seed를 통해 Wafer 결정으로 가공 생산 시 결정의 외관 치수를 Vision System을 통하여 실시간으로 측정하며 Seed의 회전속도 및 Pulling 단차를 제어 함으로서 User가 원하는 Wafer를 생산하게 하는데 목적이 있다. |
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